Hur man tar bort plasmaetsning Polymer

När en kemist eller elektriker vill modifiera de kemiska och fysikaliska egenskaperna hos ytan av en integrerad krets oblat, är det känt som plasmabehandling. En form av denna bearbetning kallas plasmaetsning, som använder en glimurladdning (sk plasma) från en specifik gas. Urladdningen släpps som pulser i en ström med hög hastighet direkt på ett prov krets. Källan till plasma, sk etch arter, kan ta en av två egenskaper - laddade, som klassificeras som joner eller neutrala, som består av atomer och radikaler. Som etch bearbetning börjar kommer ansvarsbefrielsens strömmas på kretsen skapar flyktiga etch rest som ett resultat av den kemiska reaktionen mellan det etsade materialet och etch arter skapas av plasmat. De fysikaliska och kemiska egenskaperna hos den krets som så småningom byts vid atomerna från plasmaströmmen fästa på eller tränga igenom ytan. Beroende på den gas som används för plasmaströmmen kan plasmaetsning polymeren bildas som en återstod efter processen. Saker du behöver
Integrerade rånet kretsar
Plasma etch polymer remover (PRX-127) katalog Kraftiga skyddshandskar
kirurgisk mask
skyddsglasögon eller skyddsglasögon
Strippa tankar
Dejoniserat (DI) vatten sköljtanken
torktumlare eller spin-skölj torktumlare
Visa fler instruktioner
1

plasmaets polymer sannolikt kommer att bildas efter användning plasmaets behandling med fluorkarbonfri baserade gaser såsom koldioxid hydrotrifluoride och oktafluorpropan. Dessa gaser skapar omättade föreningar i plasman som sedan överförs till IC-brickor. Dessa måste tas bort för att ytterligare plasma bearbetning för att fortsätta. Ta extrem försiktighet kring farliga kemikalier
2.

plasmaets polymer remover, känd som PRX-127, är en kemisk förening som består av delar av eter, sulfoxid och hydroxid, och är extremt farligt att andas in eller beröring. Det rekommenderas att innan du försöker använda denna produkt, bör handskar, glasögon och mask bäras. En våt-bänk immersion process är en av de säkrare sätt att hantera denna förening, och kräver väldigt lite fysisk interaktion.
3

Fyll två strippa tankar som är särskilt utformade för en våt-bänk process med PRX-127 lösning och ta med till en temperatur på 70 till 90 grader Celsius. Placera de drabbade-brickor försiktigt i en av tankarna med skyddshandskar. Skivorna ska stanna i lösningen i minst fem minuter, men inte längre än 20 minuter för optimal effekt. En mekanisk eller Sonic-baserad agitation metoden rekommenderas under den första badet. Överför skivorna från första strippa tanken till den andra när badet är fullbordad, och blöta skivorna igen för fem
4

till 20 minuter utan ytterligare omröring. Denna andra bad tar bort befintliga lager av polymer under återstoden på ytan av skivan.
5 avjoniserat vatten helt rent vatten, med inga andra mineraler.

bort skivorna från PRX-127 lösning och överföra dem till en tredje tank fylld med SVC-300 skölj, en lösning som främst används för färgborttagning. Det är ganska säkert att använda eftersom den är giftfri och ej brandfarlig och kan inte skada skivorna. Skivorna ska stanna i denna lösning i två till tre minuter. Överför wafers till en slutlig lösning - avjoniserat vatten - i en sköljtank för sex till åtta cykler och sedan använda en torktumlare eller spin-skölj tork för att avlägsna alla spår av lösningen. Skivorna ska vara helt fri från polymerer, och är nu säkert att användas igen för vidare plasma etsade bearbetning.